半導體清洗機濕式清洗制程中,主要應用項目包含晶圓清洗與濕式蝕刻兩項。至于臟污的來源,顯影清洗,不外乎設備本身材料產生、現場作業員或制程-人體自身與動作的影響、化學材料或制程藥劑殘留或不純度的發生,顯影,以及制程反應產生物的結果,尤其是制程反應產生物一項,更成為制程污染主要來源。
蘇州晶淼半導體設備有限公司致力于向客戶提供濕法制程刻蝕設備、清洗設備、pp/pvc通風柜/廚、cds化學品集中供液系統解決方案.
rca清洗附加兆聲能量后,可減少化學品及di 水的消耗量,縮短晶片在清洗液中的浸蝕時間,減輕濕法清洗的各向同性對積體電路特征的影響,增加清洗液使用壽命。
蘇州晶淼半導體設備有限公司
可根據客戶的工藝需求和工作環境的具體要求,顯影清洗機,對設備進行人性化、個性化設計,-限度的將客戶的想法轉化為實際應用。能完全滿足規模化生產和研發需求。 天道酬勤,商道酬信!-的產品是我們的-,超客戶預期是我們的自我需求,真誠守信是我們的原則,我們的目標是提升中國濕制程設備制造水平和服務!
(1) 設備運行時,腔體內必須放卡塞,否則由于平衡破壞造成設備損壞或精度降低;
(2)晶片必須均勻放置在卡塞內,盡量-首尾重力平衡;
(3)卡塞放置在腔體內時,片子正面應朝向觀察窗一側;
(4)設備運行中不得試圖打開密封門蓋,顯影設備,否則會造-體傷害或機器損壞。
蘇州晶淼半導體設備有限公司致力于向客戶提供濕法制程刻蝕設備、清洗設備、pp/pvc通風柜/廚、cds化學品集中供液系統解決方案。我們的每臺設備除標準化制作外,還可根據客戶的工藝需求和工作環境的具體要求,對設備進行人性化、個性化設計,-限度的將客戶的想法轉化為實際應用。能完全滿足規模化生產和研發需求。