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精密氣體流量計(jì)生產(chǎn)過程是什么？
(1)測量待測氣體的流量，其中熱元件是摻雜有高濃度雜質(zhì)的硅(si)半導(dǎo)體膜，并且氣體流量計(jì)包含屏蔽層，數(shù)顯精密氣體流量計(jì)，該屏蔽層布置為硅(si)半導(dǎo)體膜的上層和下層，并且形成在至少覆蓋腔室的區(qū)域中。在熱處理的生熱溫度范圍內(nèi)，屏蔽層的滲透性較低并吸收氫。
利用這種配置，可以通過使用屏蔽層來減少熱元件的電阻值的老化變化和氣體流量計(jì)的老化變化。
(2)在上述氣體流量計(jì)(1)中，屏蔽層可以包括化學(xué)計(jì)量穩(wěn)定的氮化硅(si3n4)膜。
(3)在上述氣體流量計(jì)(1)中，優(yōu)選的是，硅(si)半導(dǎo)體膜是施加有雜質(zhì)的多晶硅(si)半導(dǎo)體膜，并且多晶硅(si)半導(dǎo)體膜摻雜有高濃度的磷(p)或硼(b)作為雜質(zhì)。
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電磁流量計(jì)選型時(shí)需要考慮哪些問題
1、直流勵(lì)磁
采用直流勵(lì)磁時(shí)，被測液體流經(jīng)的磁場恒定不變，其優(yōu)點(diǎn)為構(gòu)造簡單-，受交流-小。但是，由于電極輸出的流量信號(hào)和電極極化電壓混疊在一起，而且二者均為直流信號(hào)，使得該干擾很難從流量信號(hào)中剝離出來，同時(shí)極化干擾電壓隨著流體介質(zhì)的流動(dòng)狀態(tài)和液體溫度的改變而變化。另外，江蘇精密氣體流量計(jì)，電極上感生電動(dòng)勢是直流性質(zhì)，導(dǎo)致被測流體中正負(fù)電荷的定向移動(dòng)，高精密氣體電子流量計(jì)，隨著電極附近離子的不斷-，終使傳感器自身內(nèi)阻增大，影響其測量的準(zhǔn)確性。
金屬液體中不存在電解質(zhì)液體的極化問題且電導(dǎo)率-，對直流勵(lì)磁非常有利。直流勵(lì)磁適用于測量特殊的液態(tài)金屬。
2、工頻正弦波勵(lì)磁
采用工頻正弦勵(lì)磁時(shí)，直接使用50 hz(或60 hz)的工頻市電勵(lì)磁[5]，其優(yōu)點(diǎn)是流量信號(hào)為交流性質(zhì)，能夠有效削弱極化的-作用，降低電極間等效內(nèi)阻對測量的-影響。交流勵(lì)磁電路非常簡單，便于提高磁感應(yīng)強(qiáng)度，提高測量準(zhǔn)確度。
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