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渦輪分子泵是一種用來獲取高真空的真空泵,典型的工作壓力是 0.0001pa、0.00001pa,但在---狀態下,可以通過它實現 0.00000001pa---壓的十萬億分之一的真空。渦輪分子泵可以用于各類質譜儀比如 gc/ms、lc/ms、tof…、鍍膜機、電子顯微鏡sem、tem、---離子束系統fib、表面分析儀器,高能物理實驗裝置、高真空實驗裝置等諸多應用。
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采用該技術的分子泵尺寸會更緊湊,并且有更高的壓縮比和前級耐壓。更高的壓縮比---是對小分子氣體的高壓縮比可以帶來---的---真空,而更高的前級耐壓允許使用更小的前級泵,從而降低了整個真空系統的成本和尺寸。
采用該技術的分子泵尺寸會更緊湊,并且有更高的壓縮比和前級耐壓。更高的壓縮比---是對小分子氣體的高壓縮比可以帶來---的---真空,而更高的前級耐壓允許使用更小的前級泵,從而降低了整個真空系統的成本和尺寸。
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羅茨真空泵市場
從國外羅茨泵生產情況來看,國外幾家大公司,如leybold、balzers、alcatell、edwards和ulvac,他們各家羅茨泵的銷售額占羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%,這5家總計才20%,羅茨泵產量不大,但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。目前,---幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統,為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵,所以國產羅茨泵一定要在占領基礎上設法進入國際市場,這樣就必須進一步降低國產羅茨泵的振動噪聲,軸封漏油問題,改進泵的外觀,提高泵內的光潔度和清潔度。另外,還要考慮到有些和地區的電源頻率為60hz,更要---羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的---性
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分子泵葉片破碎的原因:
答:造成分子泵轉子、靜子打碎的原因比較多,歸納起來主要是以下幾點:
、誤操作;比如突然的破真空,因為轉子與靜子葉片之間的空隙非常的小,如果葉片的材質比較薄或者比較軟,突然的空氣阻力會造成葉片變形,這樣可能會造成轉子靜子之間的摩擦,導致打碎。
、是異物掉入;沒有安裝過濾網使肯定不行的,另外掉進去的東西不一定要多大,但如果硬度夠了一樣會造成傷害,輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀,重則打碎葉片。所以現在的設備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側面90度或倒立安裝,避免異物掉入。
、電壓的不穩定,---對磁浮類的分子泵損傷較大。
、前級泵的效率差;我們知道腔體內的大部分氣體首先是通過前級泵抽出,真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差,分子泵就會比較吃力,啟動速度慢,抽氣時間長,電流高,分子泵溫度升---。
、、分子泵保養時的動平衡沒有做好,這是技術的關鍵,動平衡差,振動就大,2kgagilent分子泵維修硬件升級,抽氣效率就差,也容易造成軸承部分的過度磨損。
、軸承部分沒有使用原廠的標準軸承,效果和尺寸不標準等。
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安捷倫擴散泵特點維護簡單,皮實---不愛壞擴散泵內部沒有活動部件,與機械式真空泵的磨損失效不同,其工作失效的原因主要有泵油劣化、加熱器損壞、噴塔被油垢污染等等。安捷倫擴散泵管狀加熱器和壓緊結構設計,擁有---傳熱效率的同時,又---了泵油和加熱器本身都沒有過---,泵油不容易裂解,加熱器也不容易損壞;同時,精細的熱傳導和保溫結構設計,也使熱損失---降低。
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為了減少軸承因長期存放而造成的分布不均勻,安捷倫的分子泵控制器內置了“軟啟動”功能。如經過運輸或者停泵的時間超過 2 個月,可以使用軟啟動功能啟動分子泵,轉速以階梯方式緩慢加速,使得軸承潤滑脂在低速階段有充分時間重新均勻分布。如果存放時間超過 10 個月,建議送回維修中心,讓分子泵在檢測平臺上按照既定程序加速re-channeling,磨合軸承。