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典型渦輪分子泵抽氣系統渦輪分子泵抽氣系統一般不需要用常見的液氮冷阱來阻止軸承潤滑油或機械泵泵液的返流只要泵是以額定角速度旋轉,那么泵對除很輕的氣體氫以外的所有氣體都具有比較高的壓縮比,---阻止這些氣體從前級管道端返流到高真空端液氮冷卻的表面不能捕集因壓縮比低而返流到真空室的少量的氫液氮冷阱可用來提高系統對水蒸氣的抽速,
其---的安裝位置是在高真空閥的后面,也就是直接設置在渦輪分子泵的喉部上方還可以考慮在高真空閥后面裝一個三通管,把渦輪分子泵接在它的一個接口上,而把液氮冷卻的表面接在另一個接口上而三通的任何兩個接口之間的流導都要小于液氮冷阱的通導然而要使分子泵對水蒸氣和空氣都具有很大抽速,很佳的安排還是將液氮冷阱安裝在渦輪分子泵和高真空閥門之間。
渦輪分子泵抽氣系統既不需要用粗抽阱也不需要用前級管道冷阱粗抽與主抽系統之間較高的切換壓力能防止機械泵油通過粗抽管道遷移到真空室中去,而泵對碳氫化物餾分的高壓縮比也阻止它們從前級管道通過泵反擴散到真空室中去。
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許多設備在工作時都會產生磁場,比如,家用電冰箱的磁場強度約有10高斯1mt,mri的磁場強度甚至會---3t;盡管可以采取屏蔽等措施,仍然可能會有外漏的雜散磁場,對工作在附近的分子泵產生不好的影響。磁場對渦輪分子泵的可能影響當渦輪分子泵的轉子在磁場中旋轉時,會產生渦流。這些電流傾向于阻礙轉子的旋轉,并導---機的功率增大。
由于泵轉子不與定子接觸,渦生的熱量和額外的功率主要通過輻射消散。因此,愛發科真空泵有油r-4聯系方式,轉子可能會過熱,即使泵體及其它靜止的部件仍然是冷的。為了確認磁場對分子泵工作的影響,德國卡爾斯魯厄理工學院設計并執行了下面的測試:測試條件和裝置被測分子泵的型號為twistorr304fscff6,使用一對亥姆霍茲線圈(直徑120厘米)來產生包圍整個泵的均勻磁場。
被測分子泵由一臺渦旋干泵作為前級,分子泵的進氣口壓力抽至1e-3mbar以下該壓力以下,熱對流幾乎為零,分子泵轉子的熱量僅可以通過輻射傳遞出去很小的一部分。使用20℃的冷卻水對分子泵持續進行冷卻;分子泵的控制器會自動調整電機電流,保持轉子以恒定轉速運行。
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在正常工作時,可把水溫調節到略高于來消除泵體外部可能形成的冷凝物。
啟動系統要先接通冷卻水流,打開前級管道閥門,再同時啟動機械泵和渦輪分子泵。在泵加速到額定轉速一般為5到10min后,就可加注液氮冷阱。此后就可按上節所介紹的步驟對真空室進行抽氣。所給出的不用高真空閥門的抽氣系統的操作,要比有閥門的抽氣系統簡便得多。操作時,先打開冷卻水和前級管道閥,并同時啟動機械泵和渦輪分子泵。如粗抽泵選擇得當,使真空室的粗抽時間等于加速時間,那么真空系統就能在沒有泵油蒸氣返流的情況下把真空室抽到其本底壓力。
1-檢漏接口閥;2-渦輪分子泵;3-放氣閥;4-電離規;5-熱傳導規;6-真空管路閥;7-電磁放氣閥;8-機械泵。圖2 不用閥門的渦輪分子泵抽氣系統無閥門系統在放氣和停機時,首先關閉前級管道閥,等泵轉速下降到很大轉速的50%時再在泵的上方充入干燥氣體。當系統充到---壓時應關閉放氣閥門,否則會造成真空室過壓。然后按上述介紹的方法關掉機械泵并停掉冷卻水。
沒有單設粗抽管路的渦輪分子泵系統的操作:先打開分子泵冷卻系統和前級管路閥,并同時啟動前級粗抽機械泵和渦輪分子泵。如果粗抽泵前級泵選擇得當,使真空室的粗抽時間等于分子泵的加速啟動時間,則真空系統就能在沒有泵油蒸汽返流的情況下把真空室抽到其本底壓力。
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