大阪真空渦輪分子泵越來越多地用于現(xiàn)代半導(dǎo)體工業(yè)。濺射、蝕刻、蒸發(fā)、注入、分子束外延和離子處理等設(shè)備都需要在真空環(huán)境中運(yùn)行。近十年來，-渦輪分子泵得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應(yīng)用日益增多的情況下，干式前級(jí)泵并沒有得到廣泛的推廣和應(yīng)用，有時(shí)不得不使用油封機(jī)械泵作為渦輪分子泵的前級(jí)泵。因此，針對(duì)這種情況，渦輪分子泵的合理選擇和正確運(yùn)行顯得非常重要。

廣州潽拓光電科技有限公司——osaka分子泵維修油泵

大阪渦輪復(fù)合分子泵

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