真空系統常用名稱主泵:在真空系統中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。粗抽泵:從-壓下開始抽氣,并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。
腐蝕高分子復合材料修復真空泵腐蝕真空泵腐蝕的形態可分為均勻腐蝕和局部腐蝕兩大類,前者較均勻的發生在真空泵全部表面,后者只是發生在局部,如孔蝕、縫隙腐蝕、晶間腐蝕、應力腐蝕等。采用高分子復合材料對真空泵實施表面有機涂層防腐,其具有-的耐化學性能及優異的力學性能和粘接性能,與傳統的壓力容器焊接修補相比,具有施工簡便、成本低、安全性能,修復效果好的特點。
吸氣劑泵:它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。吸氣劑離子泵:它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。1蒸發離子泵:泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華或蒸發而覆在泵內壁的吸氣材料上,以實現抽氣的一種真空泵。2濺射離子泵:泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來的吸氣材料上,以實現抽氣目的的一種真空泵。低溫泵:利用低溫表面捕集氣體的真空泵按其真空度可以分為:粗真空、高真空、真空三大類。
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