1、對被檢工件充注高壓氮?dú)饣驂嚎s空氣進(jìn)行耐壓強(qiáng)度和大漏氣密性檢驗(yàn);
2、對被檢工件抽真空;
3、對被檢工件充注---氣;
4、真空箱法---質(zhì)譜檢測,自動(dòng)判斷工件漏率合格與不合格;
5、回收并循環(huán)使用---氣;
6、如果---氣浪費(fèi)---,可以將使用過程中濃度不合格的---氣進(jìn)行提純
7、plc控制,觸摸屏操作,自動(dòng)檢測。
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---質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源,分析器和離子檢測器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并---成束,閥門---檢漏儀多少錢,以-定能量注入質(zhì)分析器,目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。子檢測器的作用是手機(jī)質(zhì)星分析器所選定的---離子流并加以放大,再通過比對運(yùn)算,得出泄漏率
真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空,廣東閥門---檢漏儀,同時(shí)完成被檢件的抽空和---氣的引入。空系統(tǒng)-般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu),檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的---質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,閥門---檢漏儀公司,由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會(huì)對質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,被檢件只與低真空相通,因
此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏,---氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,不會(huì)對系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主品。
機(jī)械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會(huì)有油霧排出,污染工作環(huán)境,干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。
科創(chuàng)真空——真空箱---檢漏供應(yīng)商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?/p>
真空箱式---檢漏系統(tǒng)【工作環(huán)境】
工作環(huán)境:
1、長×寬×高設(shè)備占地面積約:依據(jù)實(shí)物實(shí)際面積為準(zhǔn)。
2、電源:380 v±38 v,50 hz±0.5 hz,約22kw;
3、壓縮氣源及減壓器:0.6~0.8mpa氮?dú)饣蚋稍锴鍧崏嚎s空氣;
4、待檢工件要求清潔、干燥。
5、環(huán)境溫度: 5 ℃ ~ 35 ℃;
6、相對濕度: ≤80%;
7、---氣源及減壓器:---氣純度為 99%。
8、設(shè)備應(yīng)安裝在通風(fēng)---的廠房內(nèi)。