不銹鋼滾輪導軌-mbe設備的真空應用
不銹鋼滾輪導軌系統由不銹鋼v型導軌和全不銹鋼滾輪軸承組成的,環形圓導軌,可適用于真空應用環境中;詳細說明,請參考文章:真正-的不銹鋼導軌系統:
分子束外延mbe設備的真空室為真空環境。真空通常用于表面科學設備中:一般來說,空氣中的分子會附著在暴露于空氣中的固體的表面,環形圓導軌公司,并改變固體的表面特性;即使在10-6mba的高真空當中,3秒之內就會有一層分子附著在的固體表面;
桁架機械手的工作狀態和使用壽命同其結構的動態特性有很大的關系,因此有-對其進行詳細的動態特性分析。動態特性的理論分析和實驗研究,環形圓導軌價格,采用的主要方法是模態分析法,包含如下三大部分:
一:靜剛度分析
靜剛度是衡量桁架機械手-劣的一個重要指標。當滑枕沿豎直方向移動到下端時,其伸出量,此時變形也,所以整機的靜剛度分析選擇此-械手的位置來計算,可計算出滑枕下端沿各個軸向的靜位移量:
x軸向:0.210mm
y軸向:0.190mm
z軸向:0.010mm
由計算結果可知,環形圓導軌應用,整個機構在x方向的變形量,剛度較弱,這是由于滑枕承載時,橫梁產生了扭曲變形所致。同時滑枕也是該機械手靜剛度的薄弱環節,可以采用加強筋或增加滑枕鋁型材的壁厚等措施來提高靜剛度。
滾輪圓弧導軌為精密類導軌產品,為了-加工精度,所有的表面都經過精密磨削加工:
圓弧導軌的工作精度指標-圓跳動,可分為徑向圓跳動和端面圓跳動:
1. 徑向圓跳動:公差帶是在垂直于基準軸線的任一測量平面內,且圓心在基準軸線上的兩個同心圓之間的區域:
三個重要的影響因素為:
圓弧導軌安裝面b/c的加工精度:
圓弧臺階基準加工精度:
滾輪v型槽直徑尺寸精度:
2. 端面圓跳動:公差帶是在與基準軸線同軸的任一半徑位置的測量圓柱面上,沿母線方向的兩平行圓之間的區域:
三個重要的影響因素為:
圓弧導軌尺寸精度i:
水平面基準加工精度:
滾輪安裝高度b1尺寸精度: