不銹鋼表面化學(xué)加工
用---化鐵對(duì)不銹鋼制品的局部表面進(jìn)行腐蝕,在其表面刻畫出各種花紋、圖案、文字、logo等。化學(xué)腐蝕過程是現(xiàn)在需腐蝕的不銹鋼表面涂上保護(hù)油墨或貼上不干膠。然后放入---化鐵和少量---組成的蝕刻液,不銹鋼表面層與---化鐵作用,生成的氯化物溶解在蝕刻液中或沉積在不銹鋼表面。
而根據(jù)上述工藝流程得知所需設(shè)備分別為:
工序1.涂布機(jī):主要用于工件涂油墨做保護(hù)層,用涂布機(jī)上油墨是現(xiàn)如今技術(shù)成熟的一種方式,特點(diǎn)是均勻、省時(shí)、省人工、產(chǎn)量高、省耗材等等。
工序2.烤 箱:主要用于涂的油墨烤干,防止油墨流掛,加深固化
工序3.---機(jī):主要用于光固工件上的局部感光油墨,形成圖像轉(zhuǎn)移,通過開啟紫外線燈光發(fā)出uva波長的紫外線,將菲林片上的圖案轉(zhuǎn)移到涂有感光油墨的工件上
工序4.顯影機(jī):主要用于感光工藝,---后將產(chǎn)品表面圖案顯現(xiàn)出來,然后進(jìn)入蝕刻工序,可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)。
工序5.蝕刻機(jī):主要用于腐蝕工件上露出的金屬部分,使用蝕刻液通過高壓噴淋移除部分金屬的腐蝕設(shè)備。
工序6.超聲波清洗機(jī):主要用于清洗經(jīng)過腐蝕后多余的油墨得到成品。
離子植入:其是用來控制半導(dǎo)體中雜的關(guān)鍵程序,對(duì)半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜技術(shù)。優(yōu)點(diǎn)在于雜的控制,銅板標(biāo)牌腐蝕機(jī)技術(shù),雜質(zhì)分布的再重整,及低溫下操作。 離子植入機(jī)主要的供廠商為amat,中國部份只有中電科電子裝備公司能供應(yīng)。市場(chǎng)預(yù)計(jì)今明兩年中國離子植入機(jī)需求可達(dá)5億美元與7億美元。 沉積:pvd沉積為一種物理制程,此技術(shù)一般使用等惰性氣體,藉由在高真空---離子以加速撞擊濺鍍靶材后,將靶材原子一個(gè)個(gè)濺擊出來,使被濺擊出來的材質(zhì)沉積在晶圓表面。 薄膜沉積設(shè)備主要的供應(yīng)商包含應(yīng)用材料、vaportech、lamresearch、asm、tokki等。而中國相關(guān)設(shè)備制造廠有北方華創(chuàng)、沈陽拓荊等。北方華創(chuàng)是中國薄膜沉積設(shè)備,目前技術(shù)已達(dá)到14nm。市場(chǎng)預(yù)計(jì)今明兩年中國薄膜沉積設(shè)備需求可達(dá)15億美元與20億美元。 測(cè)試:在晶圓完成制造之前,會(huì)有一道晶圓中測(cè)工序。在測(cè)試過程中,會(huì)檢測(cè)每一個(gè)芯片的電路功能。
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