在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，無塵室設備包裝搬遷怎么收費，故應在過程中嚴格控制微粒子的數(shù)量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。
無塵室內(nèi)防止微粒子污染基本原則：
排除/除去
在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是---的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，負離子檢測儀而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。
發(fā)菌量工作人員產(chǎn)生的污染
1皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鐘脫落約1000片皮膚平均大小為30*60*3微米
2頭發(fā)：人類的頭發(fā)直徑約為50~100微米一直在脫落。
3口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學品。
5人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個大于0.3微米的微粒。
6人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產(chǎn)生1000000個大于0.3微米的微粒。
7人類以0.9m/s的速度行走時每分鐘將產(chǎn)生5000000個大于0.3微米的微粒。
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器hepa進入無塵室，并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級別換氣次數(shù)越多，凈化級別越高。此型式適用于無塵室等級1，000-100，000級。
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