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首先在器件和產品的設計中,應充分體現靜電防護的思想,在器件內部設置靜電防護元件(esd protection device),盡量使用對靜電不敏感的器件以及對所使用的靜電放電敏感(esds, esd-sensitive)器件提供適當的輸入保護,使其更合理地避免esd的傷害。mos工藝是集成電路制造的---技術, 以金屬-氧化物-半導體場效應管為基本構造元件。由于mos器件中場效應管的柵、源極之間是一層亞微米級的絕緣柵氧化層,故其輸入阻抗通常大于1000m ,并且具有5pf左右的輸入電容,極易受到靜電的損害。因此,在mos器件的輸入級中均設置了電阻-二極管防護網絡,串聯電阻能夠---尖峰電流, 二極管則能---瞬間的尖峰電壓。器件內常見的防護元件還有:電容、雙極晶體管、可控硅整流器scr,見圖1等, esd發生時,它們在受保護器件之前迅速作出反應,將esd的能量吸收、釋放,使被保護器件所受沖擊大為降低。正常情況下,防護元件在其一次崩潰(first breakdown)區內工作,不會受到esd損傷,一旦外加電壓或電流過量(overstress),進入二次崩潰(secondary breakdown)區的防護元件將受到不可逆轉的損害,失去對器件的保護作用。
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防止靜電危害的原則是控制靜電的產生和防止靜電的積累?刂旗o電的產生主要是控制工藝過程和合理選擇工藝過程所用的材料;防止靜電的積累要求設法加速靜電的泄漏和中和,使靜電不超過安全限度。
就是在工藝流程、設備結構、材料選擇和操作管理等方面采取措施,以達到---靜電的產生或控制靜電積累的目的。具體方法如下:1、 ---輸送速度:降低液體輸送中的摩擦速度或液體物料在管道中的流速等工作參數,可---靜電的產生。
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