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無損檢測技術(shù)--sam將scanning acoustic microscope(sam)用于ic的封裝掃描檢測，emmi顯微鏡，可以在不損傷封裝的情況發(fā)現(xiàn)封裝的內(nèi)部缺陷。由于在很多時候不能打開封裝來檢查，即使打開很可能原來的缺陷已經(jīng)被破壞。利用超聲波的透射、反射特性可以---解決這個問題。超聲波在不同介質(zhì)中的傳播速率不同。

emmi可廣泛應(yīng)用于偵測各種組件缺陷所產(chǎn)生的漏電流，宿遷顯微鏡，包括閘極氧化層缺陷(gate oxide defects)、靜電放電破壞(esd failure)、閂鎖效應(yīng)(l---h up)、漏電(leakage)、接面漏電(junction leakage) 、順向偏壓(forward bias)及在飽和區(qū)域操作的晶體管，可藉由emmi定位，微光顯微鏡，找---(hot spot 或找亮點(diǎn))位置，進(jìn)而得知缺陷原因，幫助后續(xù)進(jìn)一步的失效分析。

掃描顯微鏡是一種利用傳播媒介的無損檢測設(shè)備。在工作中采用反射或者透射等掃描方式來檢查元器件、材料、晶圓等樣品內(nèi)部的分層、空洞、裂縫等缺陷。通過發(fā)射短波傳遞到樣品內(nèi)部，超聲掃描顯微鏡，在經(jīng)過兩種不同材質(zhì)之間界面時，由于不同材質(zhì)的阻抗不同，吸收和反射程度的不同，進(jìn)而的反射能量信息或者相位信息的變化來檢查樣品內(nèi)部出現(xiàn)的分層、裂縫或者空洞等缺陷。---的顯微成像的技術(shù)是諸多行業(yè)領(lǐng)域在各類樣品中檢查和尋找瑕疵的重要手段。在檢查材料又要保持完整的樣品時，這項非破壞性檢測技術(shù)的優(yōu)勢尤為---。

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