分子泵:分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和lcvd等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又---了膜層。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展,分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。
真空泵不斷向高速度發展,由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高,油品很容易氧化分解,尤其擴散泵往往處于---的溫度環境下工作,使系統內蒸氣壓升高,真空度降低,因此要求真空泵油具有---的熱氧化---性。真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體,會與油發生化學反應,腐蝕泵內零件;吸入空氣中往往含有水汽冷凝水,引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕,所以要求具有---的抗腐蝕和抗乳化性。主要要求真空泵中不攜帶輕質組分,以免影響油品的飽和蒸氣壓。---壓力是真空泵油重要的使用性能指標以了解在低真空---壓力下真空泵的---壓力。
粗真空系主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。廣泛用于食品、紡織、、化工等行業的真空蒸發、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結構簡單,使用方便、工作---、維護方便的特點。主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕,不溶于水,含有少量固體顆粒的氣體,以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應用于機械、制藥、食品、石油化工等行業中。
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