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近日，真空推出了壽命更長、振動更小、噪聲---的新型渦輪分子泵，同時問世的還有真空專為渦輪泵轉子開發的激光平衡技術。采用這項技術的相關真空泵---適用于包括質譜分析、電子顯微術、檢漏儀和殘余氣體分析系統等對振動敏感的應用。真空的
高度---的新型渦輪分子泵：安全、---、抗老化、體積小巧
分子泵的另一性能指標是，壓縮比，所謂壓縮比是指分子泵的排氣口壓力與進氣口壓力之比，壓縮比與轉速及分子量的關系是:
kcxexp[gxu(m)17]式中:g為與葉輪幾何形狀有關的常數;u為葉輪轉速;m為氣體的分子量。可見分子量大的氣體壓縮比較大。---質譜檢漏儀中，逆擴散檢漏正是利用分子泵對小分子量---氣的低壓縮比，而且，還通過降低葉輪轉速，降低對he壓縮比，從而提高對---氣的響應靈敏度。
分子泵的葉輪是高速旋轉的精密件，在分子泵運轉中，不允許固體雜物落到葉輪上，以避免損壞葉輪。也要防止---突然沖入正在運轉中的分子泵。因為這也有可能損壞葉輪，此外，分子泵運轉過程中，要遠離強磁場。結論改變---質譜檢漏儀的分子泵轉速，檢測信號值發生變化，儀器在運行時，分子泵轉速改變后，只要改變漏率信號的修正系數，無需再次定標，即可---檢測漏率的準確性。
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渦輪分子泵的工作原理，結構型式及其優缺點。
為了利用渦輪分子泵，獲得清潔真空，國外多利用干式機械泵作其前級泵，構成無油的真空系統。然而，目前國內渦輪分子泵多以油封機械泵為其前級泵，構成了有油真空系統，如果操作不當，很難避免油蒸汽返流，對真空系統的污染。利用有油系統獲得清潔真空，---都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經驗。
應用：當今，現代化的半導體行業中，越來越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環境下運行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及---質譜檢漏儀等也經常使用渦輪分子泵來抽真空。此外，在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統，以防止油蒸汽的污染。
因此，很近十幾年來，渦輪分子泵，在國內、外都得到了---的改進和發展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒有大量普及和應用的情況下，有時還不得不用油封機械泵來作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。
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我國是很大的半導體消費市場，但產業鏈整體價值水平較低，尤其是關鍵材料與設備和零部件方面，ulvacutm3301fw分子泵服務，存在較大國外品牌依賴。例如，薄膜沉積、刻蝕、離子注入等半導體制造中關鍵工藝過程部件——磁懸浮分子泵，長期被國外壟斷。面對“卡脖子”問題，公司積極響應需求，承擔科技部《---規模集成電路制造技術及成套工藝》專項中“磁懸浮分子泵系列產品開發與產業化”項目，多項關鍵技術，于2011年成功研制國內臺磁懸浮分子泵，---國外產品壟斷。
公司研制出新一代系列一體磁懸浮分子泵，以其---的性能，已廣泛應用于工業過程、鍍膜等領域，為半導體零部件國產化注入新活力。未來，公司將繼續---半導體產業發展需求，全力突破“卡脖子”技術難題，推動半導體設備零部件國產化，為中國集成電路發展持續貢獻力量。
現今，越來越多地改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統，以防止油蒸汽的污染。因此，很近十幾年來，渦輪分子泵在國內、外都得到了---的改進和發展。渦輪分子泵與油擴散泵相比具有啟動快，有機蒸汽污染少和---真空---特點.因此在---質譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統，即使檢漏儀不用液氮冷阱，質譜室也不致---沾污，并能保持較低的本底或雜聲.這有利于---質譜檢漏儀的靈敏度和穩定性的提高，并且延長離子源的使用壽命.
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