edwards 愛德華e2m40 真空泵應用:真空冶金加工
薄膜覆層技術
制藥冷凍干燥
冷凍和空調系統抽空、干燥和回填
變壓器和電纜干燥及浸漬、絕緣油處理工廠
燈具制造
低溫容器抽空
化工行業中的真空干燥和蒸餾
半導體設備制造
用于高真空應用的前級泵
提供了各種附件,可滿足您的應用需求
泵和附件可以作為單個部件提供,也可以作為完整系統化、經過出廠測試的組合提供。
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真空泵使用壽命不長主要是因為沒有正確的使用和日常沒有注重保養的習慣。
1真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的---真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmhg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmhg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。
2正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,園洲進口真空泵,如:擴散泵為10-3~10-7mmhg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmhg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10-8mmhg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmhg下工作,但其工作壓強應小于1×10-5mmhg為好。
3真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
4正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,進口真空泵油,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有---的抽速,但不能抽---,而三極型濺射離子泵,或二極型非對稱陰極濺射離子泵對ya有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在---壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于---壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。