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真空泵生產廠家以下有關華泵真空泵的相關技術介紹
常用真空泵的工作原理圖(1)
;真空泵要求從密封容器中高速-地排除氣體,以達到產生,-和維持真空的目的。其工作原理可以分為機械,物理和化學方式。根據要達到的真空度不同,常常需要2種以上的真空泵相組合。
代表的真空泵
;1:旋轉式機械泵
;2:分子泵tmp
;3:離子泵
;4:ti升華泵
;5:低溫泵
;曾經被廣泛使用的油擴散泵因為存在油氣蒸發的問題、現在已經很少被采用。
旋轉式機械泵
;以油封式真空泵為例加以介紹。
;構造:偏心軸轉子,,油。旋轉動力是電機。
;原理:轉子緊貼泵壁內側旋轉。隨之下移,轉子到達油面后,空氣被壓縮,壓縮后的空氣壓力高于外界-壓之后從排氣口排出。
特征:
;排氣能力由壓縮比決定,可達0.1pa程度。作簡單?梢詮-壓狀態下啟動。油要蒸發。
;為了避免油或其它液體進入真空腔內,不用油或其它液體的干式真空泵正在成為主要的旋轉式機械泵。
分子泵tmp
;構造:電機驅動的高速旋轉葉片,泵壁上固定的固定葉片。
;原理:每分鐘旋轉數萬次的高速旋轉葉片撞擊氣體分子,被撞擊的氣體分子碰撞到固定葉片后又被彈到下一個旋轉葉片上,無終被送到排氣口。旋轉葉片和固定葉片的方向相反,使分子難于逆行。這種排氣方式,排氣速度不因氣體種類而變。
;特征:
;不用油,工作環境清潔,可到達10-10pa的真空度。排氣速度不受氣體種類影響。構造復雜,價格昂貴,高速旋轉,要注意安裝要求。有振動。需要和其它初段排氣泵組合。
離子泵
;構造:強磁鐵,蜂窩狀陽極,鈦(ti)陰極。
;原理:通過濺射現象,使ti離子化,ti離子化學反應活性高。和氣體分子反應之后生成化合物。
一部分氣體分子也離子化之后向陰極加速,使陰極的ti被濺射后,一部分離子進入陰極內部。
;特征:
;能達到真空(10-10pa)
;需要和其它初段排氣泵組合。
;有一定壽命。
ti升華泵
;構造:加熱電阻絲、ti材料(線或球)。
;原理:通過加熱電阻絲,使ti升華。因為ti化學反應活性高、-和周圍的氣體分子反應而生成穩定的化合物。反應生成的化合物吸附在真空腔
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