濟南創譜儀器有限公司為您提供手動探針臺手動測試晶圓探針臺失效分析iv測試光電測試探針架探針座。產品信息：
在實際得科研生產中，由于樣品/晶圓wafer得尺寸越來越大，用于測試的探針臺相當昂貴，我司根據客戶市場應用自主研發的這款結構小巧，功能實用，成本較低的簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎上，去除了不需要得部件，該探針臺系統包含：光學成像部分，隔振平臺，探針座，四維調整載片臺chuck，真空吸附系統；
創譜儀器可以根據客戶應用搭建探針臺，以達到較好得使用效果
技術參數：
◆樣品臺xyzr四維調節，xy行程根據樣品臺尺寸/晶圓尺寸而定，z軸行程10mm，xyz整體分辨率3μm，360°旋轉粗調可鎖緊
◆兼容多種光學顯微鏡，可以引入光路，完成光電mapping測試
◆整體尺寸小，方便攜帶，底部隔振地腳，提高測試穩定性
◆漏電流精度：10pa/100fa屏蔽箱內
◆探針采用交叉滾珠導軌/精密燕尾槽，線性移動，無回程差設計
◆1微米以上電極/pad使用
◆u型探針架，可以放置多個探針座
◆多被用于晶圓測試、led測試、功率器件測試、mems測試、pcb測試、液晶面板測試、太陽能電池片測試、材料表面電阻率測試等；廣泛用于科研院校以及公司！
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