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gnx300b全自動(dòng)研磨機(jī)是兼容8”和12“的機(jī)械搬送臂。
全自動(dòng)研磨機(jī)gnx300b特點(diǎn)：
·gnx300b擁有bg研磨技術(shù)。
·日本機(jī)械學(xué)會(huì)授予岡本標(biāo)準(zhǔn)傳送方式及向下研磨方法技術(shù)獎(jiǎng)
·主軸機(jī)械精度可調(diào)
·岡本自產(chǎn)鑄金一體化結(jié)構(gòu)，不易老化
·潤(rùn)滑系統(tǒng)有完善防護(hù)，避免異物進(jìn)入造成磨損
·適用晶圓尺寸：6”、8” 、12” max晶圓厚度： 1000μm。
·可切換全自動(dòng)、半自動(dòng)操作模式
·17寸觸控操作與監(jiān)控屏，監(jiān)控氣壓、電流、水流、厚度等
·研磨耗材損耗小，加工成本低
·研磨硅屑細(xì)小，沖洗更干凈
gnx300b全自動(dòng)研磨機(jī)規(guī)格：
規(guī)格 gnx300b
max加工直徑 ф300mm
主軸轉(zhuǎn)速范圍 0~3000rpm
主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)功率 5.5/4 kw/p
主軸進(jìn)給速度范圍 1~999μm/min
主軸數(shù) 2
工作盤轉(zhuǎn)速范圍 1~300rpm
研磨輪尺寸 ф300mm
設(shè)備整重 5700kg
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