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機械手臂_5軸真空水平多關節型特點：
5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂gtvcr5000系列
實現了下降價格，但是也可以維持以前的gtvhr5000系統的機能，功能
能夠在真空環境下對應并排擺放的腔室工作臺布局，能夠靈活地適應不同類型設備的多種布局
通過優化機械手臂的空間尺寸，有利于減小真空腔室的內部容積
非常適合inline設備
機械手臂標準臂長：280mm, 330mm
手臂關節處使用磁流體密封裝置
真空密封：磁流體密封裝置以及波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內部排氣口安裝5μm級過濾器
雙手指機構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
控制通訊方式：rs232c及并口i/o方式
s曲線加減速控制方式能夠高速地搬運半導體晶圓
手指材質：cfrp碳纖維，鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式，利用o型膠圈的摩擦力來保持位置
5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂基本參數：
工藝室溫度 450°c
手臂 單臂
到達距離 635mm (手臂第3關節中心基準)
升降軸行程 60mm
可搬運 4kg (手臂第3關節處基準)
如需詳細產品參數 請聯系我們衡鵬
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