深圳市中圖儀器股份有限公司為您提供白光干涉儀檢測設備。supervieww1白光干涉儀檢測設備是以白光干涉技術為原理、結合精密z向掃描模塊、3d 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3d圖像，通過系統軟件對器件表面3d圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面的2d、3d參數。是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。
技術參數
產品型號：superview w1系列
產品名稱：光學3d表面輪廓儀
影像系統：1024×1024
光學zoom：0.5×，0.75×，1×可選
干涉物鏡：10×，2.5×，5×，20×，50×，100×可選
xy平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋
z軸行程：100mm，電動
z向掃描范圍：10mm
z向分辨率：0.1nm
可測樣品反射率：0.05%-100
水平調整：±5°手動
粗糙度rms重復性：0.005nm
臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快
生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司
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產品功能
1設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
2測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；
3測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；
4分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；
5分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
supervieww1白光干涉儀檢測設備可以對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3c電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、mems器件等超精密加工行業及航天、科研院所等領域中。
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