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與非網(wǎng)7月1日訊 上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料股份有限公司以下簡(jiǎn)稱“上海新陽(yáng)”---稱，公司自主研發(fā)的krf248nm厚膜光刻膠產(chǎn)品近日已通過客戶，并成功取得###筆訂單。
光刻膠材料作為集成電路制造領(lǐng)域的重要關(guān)鍵材料，被廣泛應(yīng)用于350nm-14nm甚###7nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的集成電路制造工藝。隨著國(guó)內(nèi)晶圓廠建設(shè)的不斷增多，以及國(guó)外光刻膠產(chǎn)能受限，供需緊張，國(guó)內(nèi)對(duì)光刻膠產(chǎn)品的需求也將快速增長(zhǎng)。
此次上海新陽(yáng)光刻膠產(chǎn)品取得首筆訂單訂單可謂是意義重大。上海新陽(yáng)表示，本次產(chǎn)品的通過及訂單的取得，標(biāo)志著“krf248nm厚膜光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化” 取得了成功，為上海新陽(yáng)在光刻技術(shù)領(lǐng)域目標(biāo)的全面完成奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
資料顯示，上海新陽(yáng)是國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體材料廠商，形成了擁有完整自主可控的電子電鍍和電子清洗兩大，其開發(fā)研制出的140多種電子電鍍與電子清洗系列功能性化學(xué)材料，產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于集成電路制造、3d-ic封裝、ic傳統(tǒng)封測(cè)等領(lǐng)域。
據(jù)悉，光刻技術(shù)是上海新陽(yáng)正在加快開發(fā)的第三大，并且已經(jīng)取得了重大突破。
此前的年報(bào)顯示，上海新陽(yáng)集成電路制造用arf干法、krf厚膜膠、i線等光刻膠驗(yàn)證工作正在穩(wěn)步推進(jìn)，部分光刻膠產(chǎn)品已取得優(yōu)異的線外測(cè)試數(shù)據(jù)。
年報(bào)-，上海新陽(yáng)采購(gòu)的用于i線光刻膠研發(fā)的nikon-i14型光刻機(jī)，用于krf光刻膠研發(fā)的nikon-205c型光刻機(jī)，用于arf干法光刻膠研發(fā)的asml-1400型光刻機(jī)，以及用于arf浸沒式光刻膠研發(fā)的asml xt 1900 gi型光刻機(jī)已全部到廠。
上海新陽(yáng)---，光刻機(jī)設(shè)備的陸續(xù)，有助于加速推動(dòng)公司在光刻技術(shù)的全產(chǎn)業(yè)鏈布局及開拓；同時(shí)公司加大在晶圓及封裝濕制程設(shè)備領(lǐng)域的投資布局。
隨著全球缺芯潮繼續(xù)蔓延，晶圓代工廠的擴(kuò)產(chǎn)勢(shì)能已傳導(dǎo)###產(chǎn)業(yè)鏈上游。而光刻膠作為半導(dǎo)體光刻工藝的材料，仍面臨較大缺口。
當(dāng)下國(guó)產(chǎn)光刻膠與國(guó)外差距較大，用于生產(chǎn)6英寸硅片的g/i線光刻膠自給率為20%，生產(chǎn)8英寸硅片的krf光刻膠自給率不足5%，制程更高的arf和euv膠則尚無量產(chǎn)，中光刻膠的市場(chǎng)份額幾乎被海外壟斷。
早前受福島地震影響，全球光刻膠之一的日本信越化學(xué)產(chǎn)能受限，并對(duì)華出口krf光刻膠，進(jìn)一步加劇了國(guó)內(nèi)光刻膠供應(yīng)緊張局面。目前krf光刻膠在國(guó)內(nèi)僅有彤程新材603650.sh的子公司北京科華實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，產(chǎn)能為10噸/年左右。
限供和缺貨也加速了光刻膠在本土下游晶圓廠的驗(yàn)證。除此次---的上海新陽(yáng)外，南大光電300346.sz自主研發(fā)的arf光刻膠于近日通過第二家客戶驗(yàn)證，并獲小批量訂單；晶瑞股份300655.sz的krf光刻膠亦進(jìn)入客戶驗(yàn)證尾期。據(jù)業(yè)內(nèi)人士介紹，通常情況下，光刻膠研發(fā)投產(chǎn)后，需經(jīng)12～18個(gè)月的客戶驗(yàn)證周期。
在國(guó)產(chǎn)化良機(jī)推動(dòng)下，上述公司也在加碼半導(dǎo)體光刻膠的相關(guān)研發(fā)和產(chǎn)能建設(shè)。上海新陽(yáng)和晶瑞股份都在今年上半年購(gòu)入asml光刻機(jī)，用于濕法arf光刻膠的研發(fā)；彤程新材則在5月---稱，子公司彤程電子投資5.7億元在上海建設(shè)年產(chǎn)1.1萬(wàn)噸半導(dǎo)體、平板顯示用光刻膠及2萬(wàn)噸相關(guān)配套試劑項(xiàng)目。
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