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“ofweek2021第十八屆激光技術應用峰會暨‘維科杯’年度評選頒獎典禮”于2021年9月24日在深圳福田大中華喜來登酒店舉行。炬光科技憑借dlight®s系列半導體集成電路晶圓退火系統，一舉斬獲“維科杯”ofweek 2021年度激光行業精密激光設備技術獎。
炬光科技及獎杯
炬光科技項目經理 華大成右一
炬光科技推出的dlight®s系列半導體集成電路晶圓退火系統，結合了產生光子的共晶鍵合技術、激光光源熱管理技術、熱應力控制技術以及調控光子的激光光束轉換技術和光場勻化技術，可生成一條線寬70μm，長寬比達160:1的近紅外波段極窄線光斑，提供1800w/mm2的連續能量輸出，在光斑長度方向上可達到＞95%的光斑均勻性和＞98%的連續輸出能量穩定性，同時還具備工藝點溫度監測，輸出光束在線檢測等附加功能。
該產品主要應用于28nm及以下半導體邏輯芯片制造前道工序，通過高能量密度激光照射到晶圓表面，在不到1毫秒的時間內將表層原子層加熱到1000℃以上再急速冷卻，從而有效減少工序中產生的晶圓電極缺陷，提高產品性能，提升晶圓生產良品率。
dlight®s系列半導體集成電路晶圓退火系統主要能夠完成動態表面退火dsa、激光尖峰退火lsa等加工工藝，了此類激光設備國外公司的壟斷，填補了國內相關產品的空白。
炬光科技dlight®s系列半導體集成電路晶圓退火系統
炬光科技將通過技術、###制造和快速響應，為成為全球可的光子應用解決方案提供商而不斷努力。
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