半導體潔凈廠房 半導體晶圓芯片凈化車間裝修設計上海CEIDI西遞

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在半導體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結(jié)構(gòu)施工外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)含特種氣體供應等及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學品供應系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風和排氣系統(tǒng)及其處理設備的安裝、消防安全報警系統(tǒng)及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣(98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。
潔凈室主要的作用就在其能控制產(chǎn)品如硅芯片等所接觸之---的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個---之環(huán)境空間中生產(chǎn)。在晶圓車間中，為了解決晶圓測試中良率不佳、測試結(jié)果不穩(wěn)定，探針測試卡的損毀及晶圓的報廢這些問題，潔凈室及輔助室的設計就該是廠區(qū)建設的首要任務之一。越是大的從事晶圓生產(chǎn)的企業(yè)對整個工廠自動化、智能化程度要求越高，所以對半導體潔凈生產(chǎn)車間的---來說，---幾-的晶圓廠區(qū)做怎樣的合理規(guī)劃、系統(tǒng)架設以提高整個潔凈工廠的空間利用率、減少機臺的閑置時間、提升產(chǎn)品的良率是他們設計的重中之重。當然這些內(nèi)容也是工廠設計定稿前需要與廠家重點探討研究的問題。晶圓車間對生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴格的控制要求，且各種配套系統(tǒng)繁多復雜。ceidi西遞---常規(guī)也會采用fab布局設計。大多數(shù)fba工廠都是四層結(jié)構(gòu)，從上至下分別為：上技術夾層，潔凈生產(chǎn)層，潔凈下技術夾層和非潔凈下技術夾層。
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