-射頻離子源RFICP 220輔助磁控濺射鍍制3D 玻璃膜

伯東企業上海有限公司為您提供-射頻離子源rficp 220輔助磁控濺射鍍制3d 玻璃膜。某國內 3d玻璃制造商采用伯東 kri ---射頻離子源 rficp 220 輔助磁控濺射鍍制 3d 玻璃膜, 以獲取- 3d玻璃膜.
其磁控濺射鍍膜工藝流程如下圖:
磁控濺射鍍膜原理：
電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞, 電離出大量的氬離子和電子, 電子飛向基片. 氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材, 濺射出大量的靶材原子, 呈中性的靶原子或分子沉積在基片上成膜.
伯東 kri ---射頻離子源 rficp 220 技術參數:
portant;"> 離子源型號
portant;"> rficp 220
portant;"> discharge
portant;"> rficp 射頻
portant;"> 離子束流
portant;"> >800 ma
portant;"> 離子動能
portant;"> 100-1200 v
portant;"> 柵極直徑
portant;"> 20 cm φ
portant;"> 離子束
portant;"> ---
portant;"> 流量
portant;"> 10-40 sccm
portant;"> 通氣
portant;"> ar, kr, xe, o2, n2, h2, 其他
portant;"> 典型壓力
portant;"> < 0.5m torr
portant;"> 長度
portant;"> 30 cm
portant;"> 直徑
portant;"> 41 cm
portant;"> 中和器
portant;"> lfn 2000
運行結果:
使用伯東kri ---射頻離子源 rficp 220 輔助磁控濺射鍍制 3d 玻璃膜, -鍍膜的, 所生產出的陶瓷手機蓋板鍍膜無論是環境脫膜測試, 耐刮測試, 膜層應力測試等等… 都優于目---般業界蒸鍍機所搭配的離子源, 提高生產率.
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