KRI -型射頻離子源用于制備類金剛石薄膜

伯東企業(yè)上海有限公司為您提供kri -型射頻離子源用于制備類金剛石薄膜。國(guó)內(nèi)某制造商在鈦合金表面制備一層類金剛石薄膜 dlc, 以期---鈦合金表面摩擦學(xué)性能, 為了獲得均勻且致密的類金剛石薄膜, 采用伯東 kri ---型射頻離子源 rficp 380 制備類金剛石薄膜.
伯東 kri ---型射頻離子源 rficp 380 技術(shù)參數(shù):
portant;"> 射頻離子源型號(hào)
portant;"> rficp 380
portant;"> discharge 陽(yáng)極
portant;"> 射頻 rficp
portant;"> 離子束流
portant;"> >1500 ma
portant;"> 離子動(dòng)能
portant;"> 100-1200 v
portant;"> 柵極直徑
portant;"> 30 cm φ
portant;"> 離子束
portant;"> ---
portant;"> 流量
portant;"> 15-50 sccm
portant;"> 通氣
portant;"> ar, kr, xe, o2, n2, h2, 其他
portant;"> 典型壓力
portant;"> < 0.5m torr
portant;"> 長(zhǎng)度
portant;"> 39 cm
portant;"> 直徑
portant;"> 59 cm
portant;"> 中和器
portant;"> lfn 2000
理由:
使用 kri ---型射頻離子源 rficp 380可以準(zhǔn)確、靈活地對(duì)樣品選定的區(qū)域進(jìn)行沉積和刻蝕.
運(yùn)行結(jié)果:
1. 沉積的類金剛石薄膜厚度約為 1.0 μm, 薄膜均勻且致密, 表面粗糙度ra為13.23nm
2. 類金剛石薄膜與基體結(jié)合力的臨界載荷達(dá)到31.0n
3. dlc薄膜具有-的減摩性, 摩擦系數(shù)為0.15, 耐磨性能得到提高
伯東是德國(guó) pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), kri 考夫曼離子源, 美國(guó)hva 真空閥門, 美國(guó) intest 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 ns 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知---的---.
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東: 羅先生 臺(tái)灣伯東: 王女士
t: +86-21-5046-1322 t: +886-3-567-9508 ext 161
f: +86-21-5046-1490 f: +886-3-567-0049
m: +86 152-0195-1076 m: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw

伯東-, 翻拷必究!
     聯(lián)系時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是在云商網(wǎng)上看到的此信息，謝謝！
     聯(lián)系電話：021-50463511，13918837267，歡迎您的來(lái)電咨詢！
     本頁(yè)網(wǎng)址：http://www.hkjzdrp.cn/g41578610/
     推薦關(guān)鍵詞： 渦輪分子泵, 旋片真空泵, 氦質(zhì)譜檢漏儀, 氦質(zhì)譜分析儀, 真空計(jì)