唐山任氏巨源微波儀器有限公司為您提供任氏巨源微波等離子體化學氣相沉積爐。一、任氏巨源微波等離子體化學氣相沉積爐應用：該款具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強范圍寬、無內部電極污染等特點，微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學氣相沉積、刻蝕以及ch4轉化制氫、長余輝發光材料、陶瓷燒結、碳納米管修飾[3]、納米粉體合成、處理水污染等領域有廣泛應用。
二、任氏巨源微波等離子體化學氣相沉積爐產品特點：
1. 垂直反應器的設計可使等離子密度高；對稱的微波發生裝置，使產生的等離子場環境更均勻。
2. 微波等離子體氣相沉積爐的諧振腔內沒有內部電極,可以避免電極放電所產生的污染,而且,它的工作氣壓范圍比較寬,所產生等離子體密度高、區域大,穩定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對薄膜的污染。
三、任氏巨源微波等離子體化學氣相沉積爐技術參數：
型號/model wbmw-dlz3
可加熱材料 非易燃易爆的任何材料
微波頻率 2.45ghz±50mhz
加熱方式 純微波加熱
射頻功率/kw 3 (功率可調)
工作溫度/℃ 1200
長期工作溫度/℃ ≤1100
溫度測試元件 微波場---傳感器/紅外測溫可選
控溫精度/℃ ±2微波場---傳感器
石英管尺寸(外徑/內經x長度)/mm φ102/φ92x1000
真空系統配置可選 簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭；
10-1pa真空機械泵及真空計；
10-2pa真空機械泵、擴散泵及真空計；
10-3pa真空機械泵、分子泵及真空計；
升溫速率(標配) 0～1000℃/min可任意設定，可編程、分段加熱
外型尺寸(長x寬x高)/mm 10007501830
微波泄漏量/ mw/cm2 ≤0.4
提供相關配件 防護 手套×1、中文說明書×1
保質期 整機免費保修1年
歡迎您來廠考察、垂詢或登陸我公司網站：了解詳情。聯系人：董工13503159551
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