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很多潛在的工藝問題均與布局有關�；瘜W機械平面化chemicalmechanicalplanarization，cmp中的凹陷和浸蝕、金屬版印刷的光學近似效應opticalproximityeffects、蝕刻負載etchloading以及許多其他的工藝特性都隨著特征密度featuredensity而改變。過程工藝viaprocess取決于主要層的特性，以及其本身的布局堆棧式stacked或非堆棧式unstacked。
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