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          13.56MHZ射頻電源匹配器一體機(jī)

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          產(chǎn)品性能


          該電源通過特殊的射頻隔離設(shè)計(jì),將射頻電源與自動(dòng)匹配器集為一體,減少射頻系統(tǒng)體積。輸出功率300w,頻率13.56mhz,標(biāo)準(zhǔn)正弦波。大屏幕液晶顯示:設(shè)定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù)。


          應(yīng)用對(duì)象


          該電源可以作為射頻驅(qū)動(dòng)等離子體系統(tǒng)的電源。應(yīng)用對(duì)象包括:磁控濺射、等離子清洗、pecvd等小型容性射頻系統(tǒng)。


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