成都超邁SURPASS復合磁控濺射鍍膜機離子轟擊系統充氣系統在線測量系統

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●設備主要由真空腔體、真空系統、工件盤系統、烘烤系統、濺射系統、過渡倉、磁力機械手、離子轟擊系統、充氣系統和在線測量系統組成，同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統，可根據客戶使用需求定制。
●真空腔體：φ650x700雙層水冷；可根據實際需求定制
●真空系統：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵復合真空系統；
●真空抽速：1600l/s，進口全量程復合真空計，全金屬防爆真空規；
●-真空：6.7x10-5pa；根據客戶選擇主泵確定
●磁控靶組件：4個矩形靶，3個圓形靶，根據客戶實際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源；
●離子源：1套線性離子源，匹配-電源；
●氣路：4路反應氣體，進口流量計，1路毛細保護氣路；
●烘烤溫度：300℃，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結構；
●工件盤：導軌多工位行星工件盤2套，工件盤裝夾移動小車一輛；
●控制系統：西門子plc+西門子人機界面+工業控制計算機。

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