1200℃旋轉式真空氣氛管式電爐 化學氣相沉積設備

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一、操作便捷性；
1、氣路連接方式采用了快速連接法蘭結構。
2、使取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作。
3、取消了復雜的法蘭安裝過程，減少了爐管因安裝造成損壞的可能。

二、結構實用性;
1、加熱爐膛有上下兩部分組成，其中上部爐膛可整體向后翻轉110°，方便取放、觀察實驗物料，爐膛材料采用---的多晶莫
來纖維真空吸附制成，節能50%，溫場均勻。電熱元件采取高電阻---合金絲0cr27al7mo2。
2、密封法蘭采用雙環密封技術，有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進出氣微量可調功能。
3、兩端氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應力，杜絕了因自身應力而造成的爐管損壞。
4、---的空氣隔熱技術，結合熱感應技術，當爐體表面溫升到達50℃時，排溫風扇將自動啟動，使爐體表面快速降溫。

三、使用安全性；
1、爐膛開啟自動斷電功能，使爐門打開后自動斷電。
2、超溫保護功能，當溫度超過允許設定值后，自動斷電及報警。
3、漏電保護功能，當爐體漏電時自動斷電。以上功能---了使用的安全性。

四、控制智能化;
1、電爐溫度控制系統采用-調節技術，具有pid調節、模糊控制、自整定功能，并可編制各種升降溫程序。
2、國產程序控溫系統可編輯50段程序控溫，進口程序控溫系統可編輯40段程序控溫。
3、電爐內配置有485轉換接口，可選配軟件實現與計算機相互連接。完成與單臺或多達200臺電爐的遠程控制、實時---、
歷史記錄、輸出報表等功能。

五、周邊拓展性;
1、真空控制系統。通過各種真空控制系統，可以實現樣品在低、中、高真空環境下進行試驗。
2、氣體流量控制系統。通過浮子或流量控制器調節進氣量，以滿足用戶在不同反應氣氛或保護氣氛條件下的實驗要求。

六、設計---性;
該設備為---產品，具有多項獨立自主的------。外觀美觀，結構合理，使用方便。
選配：彩色觸摸屏；
顯示畫面有儀表屏、光柱圖、實時曲線、歷史曲線、數據報表、報警報表等、全中文觸摸式操作，功能全面并且使用方便。


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